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產品材料不同挑選不同功率的等離子清洗機

發布日期:2021-07-09 00:00 來源:http://www.historianr.com 點擊:

產品材料不同挑選不同功率的等離子清洗機


跟著我國科技的進步,等離子清洗機又稱等離子去膠機在現代工業上高速開展,原因也很簡略,挑選等離子去膠機是因為它操作簡略、工作效率高、低成本、環保且去膠后表面光潔。下面為大家介紹等離子清洗機在運用中四大影響要素,希望對大家有所協助。


一、 調整合適的頻率:

頻率越高,氧越易電離構成等離子體。頻率太高,以致等離子清洗機電子振幅比其平均自由程還短,則電子與氣體分子磕碰概率反而削減,使電離率降低。通常常用頻率為 13.56MHz及2.45GHZ 。



二、 調整合適功率:

關于必定量的氣體,功率大,等離子體中的的活性粒子密度也大,去膠速度也快;但當功率增大到必定值,反應所能耗費的活性離子到達飽滿,功率再大,去膠速度則無明顯增加。由于功率大,基片溫度高,所以應根據技術需求調度功率。


三、 調整合適的真空度:

恰當的真空度,可使電子運動的平均自由程變大,因此從電場取得的能量就大,有利電離。別的當氧氣流量必守時,真空度越高,則氧的相對份額就大,發生的活性粒子濃度也就大。但若真空度過高,活性粒子濃度反而會減小。



四、 氧氣流量的調整:

氧氣流量大,活性粒子密度大,去膠速率加速;但流量太大,則離子的復合概率增大,電子運動的平均自由程縮短,電離強度反而降低。若反應室壓力不變,流量增大,則被抽出的氣體量也增加,其間尚沒參加反應的活性粒子抽出量也隨之增加, 因此流量增加對去膠速率的影響也就不甚明顯。

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