蘇州愛特維電子科技有限公司
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東莞愛特維等離子科技有限公司
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1、等離子發生器按等離子焰溫度分:
(1) 高溫等離子體:溫度相當于108~109K徹底電離的等離子體,如太陽、受控熱核聚變等離子體。
(2)低溫等離子體:
等離子發生器熱等離子體:稠密高壓(1大氣壓以上),溫度103~105K,如電弧、高頻和燃燒等離子體。
等離子發生器冷等離子體: 電子溫度高(103~104K)、氣體溫度低,如淡薄低壓輝光放電等離子體、電暈放電等離子體、DBD介質阻撓放電等離子體、索梯放電等離子體等。
2、等離子發生器按等離子體所處的狀態:
(1)等離子發生器平衡等離子體:氣體壓力較高,電子溫度與氣體溫度大致相等的等離子體。如常壓下的電弧放電等離子體和高頻感應等離子體。
(2)等離子發生器非平衡等離子體:低氣壓下或常壓下,電子溫度遠遠大于氣體溫度的等離子體。如低氣壓下DC輝光放電和高頻感應輝光放電,大氣壓下DBD介質阻撓放電等產生的冷等離子體。
等離子發生器低溫等離子體的發生技能
·直流輝光放電等離子發生器
·低頻放電等離子體等離子發生器
·高頻放電等離子體等離子發生器
·非平衡大氣壓等離子體放電等離子發生器
·介質阻撓放電等離子發生器