氬氣簡稱氬，英文名Argon，化學式為 Ar，是一種無色無臭的惰性氣體，通過高壓氣瓶運輸和存儲，在工業中主要運用于金屬的電弧焊接和切割保護。

氬氣是一種惰性氣體，電離后發生的離子體不會與基材發生化學反應，在等離子清洗中主要被運用于基材外表的物理清洗及外表粗化，Z大的特點便是在外表清洗中不會形成精細電子器件的外表氧化。正因如此，氬等離子清洗機在半導體、微電子、晶圓制造等職業被廣泛運用。2 輝光放電色彩

氬氣在真空等離子清洗機中被電離所發生的等離子體呈暗紅色。在相同的放電環境下，氫氣和氮氣所發生的等離子體色彩都是呈紅色，但氬等離子體的亮度會低于氮氣且高于氫氣，還是比較好區別的。
3 運用介紹

① 外表清洗

在晶圓、玻璃等產品的外表Particle去除的工藝中，通常都是選用Ar等離子體對外表Particle進行炮擊，以達到Particle被打散、松動（與基材外表脫離）的作用，再合作超聲波清洗或離心清洗等工藝，將外表的Particle進行去除。特別是在在半導體封裝工藝中，完成打線工藝后為防止導線氧化，都是選用氬等離子體或氬氫等離子體進行外表清洗。

② 外表粗化

等離子清洗機的外表粗化又稱外表刻蝕，其意圖是提高材料外表的粗糙度，以添加粘接、印刷、焊接等工藝結合力，經氬等離子清洗機處理后的外表張力會顯著提高?；钚詺怏w所發生的等離子體也能夠添加外表的粗糙度，但氬氣電離后發生的粒子相對較重，氬離子在電場的作用下的動能會顯著高于活性氣體，所以其粗化作用會愈加顯著，在無機物基材外表粗化工藝中運用Z為廣泛。如玻璃基材外表處理、金屬基材外表處理等。

③ 活性氣體輔助

     在等離子清洗機的活化和清洗工藝中，工藝氣體經常被混合運用，以達到更佳的作用。

     由于氬氣的分子比較大，電離后發生的粒子比較后，在進行外表清洗和活化時通常會合作活性氣體混合運用，Z常見的便是氬氣和氧氣的混合。氧氣為高活性氣體，可有用地對有機污染物或有機基材外表進行化學分化，但其粒子相對較小，斷鍵和炮擊才能有限，如加上一定比例的氬氣，那么所發生的等離子體對有機污染物或有機基材外表的斷鍵和分化才能就會更強，加速清洗和活化的功率。

氬氣與氫氣混合運用在打線和打鍵工藝中，除添加焊盤粗糙度外，還能夠有用去除焊盤外表的有機污染物，同時對外表的輕微氧化進行復原，在半導體封裝和SMT等職業中被廣泛運用。