真空泵用于在等離子設備的工作過程中生成真空。
在等離子體技術中較常用的真空泵如下所述：
一、旋片泵
工作原理：
旋片泵由一個外殼，外殼中的 轉子偏心轉動。 外殼內部具有彈簧加力型葉片，葉片頂住外殼內壁，并沿內壁滑動。被圍在吸入側的氣體將被壓縮，直至其超過環境壓力，然后排氣側上的排氣閥打開。
泵在油浸環境中運行具有以下優點：
1.密封吸入側和排氣側；
2.降低摩擦。
泵尺寸：
對于我們的標準設備，可以考慮特殊旋片泵。 泵越大，抽氣速度越快，工藝時間就越短。
也可以根據腔室容積和所需的工藝時間自定義選擇泵。
有些處理產品會釋放大量氣體（例如：POM 部件、硅橡膠或潮濕部件）。在這種情況下，建議使用性能更強的泵。必須在初步測試中闡明這一點。
氧等離子體環境下的使用：
如果等離子設備要用氧氣作為工藝氣體工作，則泵必須為此進行相應的準備。在泵的外殼內會產生油霧。如果使用的是礦物油，那么這種油霧與純氧氣結合會具有爆炸危險，同時也會加快泵油老化，影響真空性能。
有兩種方法可以解決這個問題：
1.用 氟素油（PFPE）充注泵。這種油是不可燃的。但是其有一些嚴重的缺點：
? 氟素油（PFPE）的價格極其昂貴
? 氟素油（PFPE）含有氟原子。等離子工藝流程期間，這種油會發生分解，并且會產生劇毒 的化合物（例如：全氟異丁烯）。僅這些油化合物便已經會引發危險事故了。
? 必須將氟素油（PFPE）作為特殊垃圾進行廢棄處理。
2.用空氣或氮氣沖洗泵。此解決方案應該是較先選擇。工作原理如下圖：
二、干式泵
使用腐蝕性氣體工作
為了使用腐蝕性氣體 (CF4 /O2, SF6, …) 進行工作，研發了特殊的真空泵。以下旋片泵適用于諸多應用用途。
但是，這些泵經常與腐蝕性氣體一起使用會限制其使用壽命。對于實驗室操作，這種泵通常就夠用了。但是，若經常在生產期間使用，我們則建議購買干運行泵。
干運行泵適用于腐蝕性氣體工藝
針對使用腐蝕性氣體的工藝流程，也可以使用干運行泵。但是，這些泵必須是專門針對這種高負載而設計的。這些泵專為較高負載而設計。這些泵還可以處理 顆粒、冷凝或腐蝕副產物。干運行泵的優點在于優化了生產燃料的消耗量。這些泵不需要進行預防性維護。（換油）
三、羅茨泵
旋片泵所產生的壓力會受到限制。為了增強抽吸性能，建議將其與羅茨泵組合使用。它們將會組成一個所謂的泵站。典型組合如下所述：
1.DI一個泵（例如：一個旋片泵）生成預真空。其被稱為“前級泵”。
2.作為第二個泵，使用的是一個羅茨泵，以提高抽氣速度。
工作原理
羅茨泵，也被稱為搖桿式活塞泵或羅茨鼓風機，是回轉式活塞泵，其上有兩個對稱設計的旋轉活塞或滾動活塞在輸送箱中沿相反方向滾動。
轉子的橫截面約為 8 字形，并通過齒輪傳動裝置同步，以使它們從彼此旁邊以及從外殼壁旁邊經過時留有較小的縫隙，而不會相互接觸。
在活塞位置 I 和 II 處，吸氣法蘭中的容積將會增大。將活塞繼續旋轉到位置 lll 時，部分容積將被從吸力側密封。
在位置 IV 處，將該容積打開至出口側，現有氣體將會在預真空壓力（高于吸入壓力）下涌入。涌入的氣體將會壓縮從吸入側輸送的氣體體積?；钊^續旋轉時，將會通過出口法蘭排出壓縮氣體。
每完整旋轉一圈，針對每兩個活塞重復執行此過程兩次。通過輸送室內的無接觸式運行，可以以較高轉速運行搖桿式活塞泵。由此，使用較小的泵就可以實現相對來說較高的抽氣速率。
在搖桿式活塞泵中，吸入側和出口側之間的壓力差和補償比受到限制。
羅茨泵的功能圖
哪款泵適合您的工藝流程，我們樂意為您提供相關咨詢。
