等離子活化
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定期保養計劃

發布日期:2021-03-26 16:57 來源:http://www.historianr.com 點擊:


  定期保養計劃

等離子設備在使用過程中,腔體內出現的一些殘留物和氧化層,在前期發展階段,該薄層并不影響設備的運行或成品。但是經過持續的運轉后,發現了除膠效果不穩定,能察覺到微小改變,所以在使用一段時間之后是需要將托板架與電極進行清洗翻新。


 
同時設備出現的故障也直接體現設備的保養的程度。如經適當的維修、翻新,電極的使用壽命可達到預期使用的較大值。那么通過等離子清洗設備的原理和構成制定可行性保養計劃很關鍵。
 
從圖1可看出等離子設備的三大條件是真空環境(真空機組,真空檢測儀,腔體的密閉)、高能量(射頻電源、溫度、工藝氣體)和介質(腔體、電極、托板架)組成。那么等離子設備的保養應從以上這些方面進行,根據保養項目劃分周期分為每日、每周、每月、半年、每年、2~3年,見表1。


目前,用等離子除膠工藝代替常規化學溶劑除膠及高溫氧氣除膠已獲得顯著效果。在實際生產過程中,影響等離子除膠效果的不僅僅是工藝技術,還有設備的穩定性,比如工藝氣體的微小泄露、電極托板架的烴基殘留物、腔體內其他管道的氧化程度以及設備本身不同程度的故障這些都是在PCB制造過程中直接對生產產生影響。因此,做好等離子清洗設備維護保養
非常必要。


等離子清洗

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