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等離子體設備保養

發布日期:2021-03-26 16:57 來源:http://www.historianr.com 點擊:


等離子體設備保養

在實際生產中,我們發現PCB等離子清洗設備一些重要的部件會隨著使用時間的推移產生不同程度的氧化、老化、腐蝕等問題,會是引起等離子清洗設備達不到除膠效果的原因,例如反應腔、電極、托板架、氣體的壓力等。以下介紹了幾個關鍵部位保養前后的效果以及如何進行保養。
1.等離子腔體清潔
等離子除膠時產生的污物大部分都接近電子級別,會隨著真空泵排除。但也會有一些大顆粒污染物產生。這些大顆粒污物會附著在腔壁、電極和托板架上。腔壁上有一層薄薄的“灰”,腔底掉落更嚴重.
對于腔壁用不可掉落的毛刷清潔使顆粒粉塵異物在腔壁脫落,用吸塵機將污物吸出。用脫脂布沾酒精擦拭,其次腔體導入N2和O2,用等離子體清除腔體內殘余物,工作10min。
2.電極與托板架的保養翻新
托板架和電極長時間使用后會附著氧化層,同時采用等離子體處理烴基材料時,一段時間后在托板架、電極,RF導電桿上會積累一層薄的烴基殘留物,這些殘留物和氧化層是無法用酒精擦拭掉的。應依據附著物的量對電極、托板架進行翻新維護能保證除膠的穩定。

清洗材料要求:氫氧化鈉、硫酸、城市用水和蒸餾水。注意:不要使用手磨機、砂紙或磨蝕性噴砂處理等機械方法清潔;氫氧化鈉溶液會與鋁發生劇烈的化學反應,應小心謹慎以確保僅在所需的時間內清除沉積物;反應中會生成具有潛在爆炸性的氫氣,因此工作區域應保持良好的通風。

3.電極的清潔翻新步驟
(1)從真空箱內斷開水和供電連接,然后切斷電源并取下接地電極。(留意每個電極的初始位置,使它們在被清潔后能夠安裝在原來相同的位置上);
(2)保護好冰水機的進水口和出水口,在室溫下將拆下的電極沉浸在10%的氫氧化鈉溶液內。在沉浸時每2min檢查電極一次,直到徹底除去殘留物。實際清潔時間取決于積累在每個電極上的殘留物數量。
(3)用城市用水徹底沖洗電極3分鐘。
(4)將電極浸在硫酸和水(按重量為5%)的溶液中一分鐘(不能干燥)后,立即進入下一步操作(這一步主要去除氧化層,干燥以后氧化層會再次附著,難以沖洗)。
(5)用蒸餾水沖洗電極兩次,每次3min。
(6)使電極徹底干燥。
(7)將電極安裝在與原先的位置,如必要,更換絕緣體。
(8)重新連接好箱內的水管和電力,翻新之后見圖4。

4.托板架的翻新維護
(1)需要將滾輪拆除后清洗,待清洗完成再次安裝,滾輪不能使用氫氧化鈉和硫酸浸泡清洗。
(2)托板架沉浸在10%的氫氧化鈉溶液中,沉浸時每2分鐘檢查托板架一次,直到徹底除去殘留物,實際清潔時間取決于積累在每個托板架上的殘留物數量。
(3)使用城市用水徹底沖洗托板架3min。
(4)將托板架浸在硫酸和水(按重量為5%)的溶液中一分鐘后(不能干燥),立即進入下一步操作(這一步主要去除氧化層,干燥以后氧化層會再次附著,難以沖洗)。
(5)用蒸餾水沖洗托板架兩次,每次3min。
(6)使托板架徹底干燥(建議用布先擦干)。
(7)將托板架的滾輪安裝,如必要,更換滾輪絕緣墊片。翻新后見圖5。
5. 腔體內氣管、RF導電桿
腔體內氣管也有不同程度的氧化,順帶保養電極的同時,一同保養(見圖6)。同樣參考了托板架保養2-6步驟。(注意:氣管拆卸下來需將兩端的口堵上,再進行清洗)

6.氣體管道檢查

使用氣體質量流量控制器對機臺氣體質量流量控制器進行測量,并參照檢測值校正機臺氣體質量流量控制器。

也可參照同腔體真空度檢查(參考測試),關閉總閥之后檢查顯示O2、N2、CF4管道通道壓力數值,如果發現數值有變化,用肥皂水噴在氣體管道接口處觀察,如有氣泡出現,重新更換接頭恢復正常。

7.冰水和熱量轉換系統保養
冰水機和模溫機檢查,等離子除膠過程的溫度控制在85°C,電極的熱量轉換液是通過模溫機進行溫度調節的。

實際運用中是使用純水,還是會有不少的雜質和鋁發生腐蝕性反應,所生成的水垢沉積物。水垢一旦過多鐵氟龍水管和接頭就會老化堵塞,PCB等離子設備除膠過程溫度不穩定。定期檢查熱循環系統如發現老化,需及時更換鐵氟龍水管和接頭
8.冰水機一般是循環冰水使冷卻液冷卻的。它有兩套水系統,一是循環冰水,二是芯冷卻轉換水;有兩組過濾棉芯,任意一個過濾棉堵塞不流暢,都會出現冰水超溫,真空泵都會超溫,設備出現報警,必須定期檢查并更換棉芯。

9.真空泵的保養
查看真空泵油位和油的純度,觀察油位視窗,發現油位接近較低紅線刻度,加油到紅標線上下之間位置
10.測試
(1)極限真空測試。
手動檢漏狀態下,打開真空泵持續抽10min,紀錄較低值4.0Pa/min≤6.0Pa/min,合格。
(2)真空泄漏值測試。
手動檢漏狀態下,打開真空泵持續抽10min,記錄真空較低值,然后手動關閉抽真空電磁閥,同步打開檢漏按鈕,每分鐘數值3.2Pa/min≤6.0Pa/min,合格。
(3)咬蝕量測試:7~14mg/min合格。
(4)均勻性測試:75%以上為合格。
(5)運行測試:運行24h無異常。

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