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等離子體發生器的放電原理

發布日期:2021-03-26 17:03 來源:http://www.historianr.com 點擊:

等離子體發生器的放電原理


     使用外加電場或高頻感應電場使氣體導電,稱為氣體放電。氣體放電是發生等離子體的重要手段之一。被外加電場加速的部分電離氣體中的電子與中性分子磕碰,把從電場得到的能量傳給氣體。

  電子與中性分子的彈性磕碰導致分子動能增加,表現為溫度升高;而非彈性磕碰則導致激發(分子或原子中的電子由低能級躍遷到高能級)、離解(分子分解為原子)或電離(分子或原子的外層電子由束縛態變為自由電子)。

  高溫氣體經過傳導、對流和輻射把能量傳給周圍環境,在定常條件下,給定容積中的輸入能量和損失能量持平。電子和重粒子(離子、分子和原子)間能量傳遞的速率與磕碰頻率(單位時間內磕碰的次數)成正比?!菊婵盏入x子設備】


  在稠密氣體中,磕碰頻繁,兩類粒子的平均動能(即溫度)很簡單達到平衡,因此電子溫度和氣體溫度大致持平,這是氣壓在一個大氣壓以上時的一般狀況,一般稱為熱等離子體或平衡等離子體。


  在低氣壓條件下,磕碰很少,電子從電場得到的能量不簡單傳給重粒子,此時電子溫度高于氣體溫度,一般稱為冷等離子體或非平衡等離子體。
等離子處理

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