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真空等離子清洗機上不容忽視的密封件

發布日期:2020-05-11 00:00 來源:http://www.historianr.com 點擊:

真空等離子清洗機上不容忽視的密封件

布景技術 

跟著微電子技術的不斷發展,相關出產企業的比賽越來越劇烈,下降本錢、前進出產功率則是前進企業比賽力的常用方法。如LED光源出產企業為前進出產功率、下降出產本錢,在刻蝕工藝過程中選用托盤搬運的方法完成一起搬運和刻蝕多個基片。 


在實踐運用過程中,由于方形結構的密封圈5不易變形,使得刻蝕加工設備存在問題:Di一,基座1與托盤2不能很好地接觸,從巾影響基座1與托盤2之間的熱傳導,導致托盤2表面溫度不均勻,然后影響刻蝕工藝的穩定性,如溫度較高的區域或許出現光刻膠潰散的問題。第二,密封圈5的頂部和內側不易密封,使得背吹空間3不能很好地密封,然后導致氫氣泄露,這不只影響丁藝腔室的真空度以及下降氣冷的效果.而且還導致出產成木的添加.在實標使用中,雖然可以通過添加效果在托盤2上的機械力而增大密封網的變形量,但是,增大機械力又簡略導致石英資料制成的機械壓環4味碎,因而,增大效果在托盤上機械力的方法不能徹底處理上述問題。 


為處理上述技術問題,作為本實用新型一個優選施行例,在密封圈本體內側設置第二凸部,憑借第二凸部可以前進密封圈軸向的密封功能。類似地,本實用新型供給的等離子體加工設備,由于選用本實用新型供給的密封圈,憑借易于變形的DI一凸部和第二凸部不只可以分別前進密封圈徑向和軸向的密封功能,使得背吹空間獲得杰出的密封,然后可以削減因氦氣泄露對工藝腔室真空度的影響,一起削減氦氣的運用量,下降出產本錢。而且,DI一凸部可以使基座和托盤堅持杰出的接觸,然后供給托盤表面溫度的均勻性,這又使得置于托盤頂部不同方位的基片的刻蝕速度相同,前進刻蝕工藝的穩定性,前進產品的質量。 


密封件的挑選是否適合,是一臺真空等離子清洗機密封性好壞的要害。其實,真空等離子清洗機如何挑選適合的密封件也是有方法可循的。真空等離子清洗機上所運用的密封件從種類上分首要有3種,DI一種是O型密封圈、第二種是管路支架密封件、第三種是密封墊片。 


分類 


1.真空等離子清洗機上所運用的O型密封圈
 O型密封圈(O-rings) 是一種截面為圓形的橡膠密封圈, 因其截面為O型, 故稱其為O型橡膠密封圈。O型密封圈是機械設計中較常見的密封元件之一。首要運用在真空等離子清洗機的真空腔體與其他部件相銜接的部位,起到密封效果,比如真空腔體與真空門之間的密封、饋入電極與真空腔體之間的密封以及真空腔體與真空管路之間的密封。 


2.真空等離子清洗機上所運用的管路支架密封件 


管路支架密封件是一種運用于真空等離子清洗機外部管路與管路之間相銜接的密封件,管路支架密封件一般和真空卡箍一起合作運用,運用時將管路支架密封件放置在管路與管路之間,然后用真空卡箍鎖緊,通過真空卡箍的揉捏,使管路夾緊管路支架密封件,終究可完成密封效果。首要長處是裝置起來非常方便,無需運用工具;密封功能好,首要運用在真空管路之間的銜接處上。 


3.真空等離子清洗機上所運用的密封墊片 


密封墊片是一種用于有流體的機械、設備所運用的密封件.密封墊片是金屬或非金屬的板狀質料,經切開、沖壓或裁剪等工藝制造而成的,首要用于機器設備的機件與機件之間的密封銜接,用于有流體的機械、設備所運用的密封件,密封墊片是金屬或非金屬的板狀質料,經切開、沖壓或裁剪等工藝制造而成的。 
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