等離子活化
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等離子清洗機氣體通入的作用

發布日期:2020-04-26 00:00 來源:http://www.historianr.com 點擊:



                                                                                                   等離子清洗機氣體通入的作用

在運用等離子清洗機清洗物體前首要要對清洗的物體和污物進行剖析,然后進行氣體的選配。等離子清洗機中氣體通入一般來說有兩個意圖,根據等離子的作用原理可將選配氣體分為兩類,一類是氫氣和氧氣等反響性氣體,其間氫氣首要運用于清洗金屬外表的氧化物,發作還原反響。等離子清洗機通氧氣首要運用于清洗物體外表的有機物,發作氧化反響。
另一類是等離子清洗機通氬氣、氦氣和氮氣等非反響性氣體,氮等離子處理能提高資料的硬度和耐磨性。氬氣和氦氣性質穩定,并且放電電壓低(氬原子的電離能E為15.57 eV)易構成亞穩態的原子,一方面等離子清洗機運用其高能粒子的物理作用清洗易被氧化或還原的物件, Ar+炮擊污物構成揮發性污物被真空泵抽走,避免了外表資料發作反響;另一方面運用氬氣易構成亞穩態的原子,再與氧氣氫氣分子磕碰時發作電荷的轉換和再結合,構成氧氫活性原子作用于物體外表。
等離子清洗機在清洗外表氧化物時用純氫雖然效率高,但這兒首要考慮放電的穩定性和安全,在等離子清洗機運用時選用氬氫混合較為適宜,另外關于資料易氧化或易還原的資料等離子清洗機也能夠選用顛倒氧氣和氬氫氣體的清洗次序來達到清洗完全的意圖。
常見的等離子清洗機中氣體運用的實例
等離子清洗機,等離子刻蝕,等離子處理

一、金屬外表去油及清潔
金屬外表常常會有油脂、油污等有機物及氧化層,在進行濺射、油漆、粘合、健合、焊接、銅焊和PVD、CVD涂覆前,需要用等離子處理來得到完全潔凈和無氧化層的外表。 在這種情況下的等離子處理睬產生以下作用:
氧化物去除
金屬氧化物會與處理氣體發作化學反響
這種處理要選用氫氣或許氫氣與氬氣的混合物。有時也選用兩步處理工藝。首先先用氧氣氧化外表5分鐘,第二步用氫氣和氬氣的混合物去除氧化層。也能夠一起用幾種氣體進行處理。
二、等離子刻蝕
在等離子刻蝕過程中,通過處理氣體的作用,被刻蝕物會變成氣相(例如在運用氟氣對硅刻蝕時,下圖)。處理氣體和基體物質被真空泵抽出,外表接連被新鮮的處理氣體覆蓋。不期望被刻蝕部分要運用資料覆蓋起來(例如半導體行業用鉻做覆蓋資料)。
等離子辦法也用于刻蝕塑料外表,通過氧氣能夠灰化填充混合物,一起得到分布剖析情況??涛g辦法在塑料印刷和粘合時作為預處理手法是十分重要的,如POM 、PPS和PTFE。等離子處理能夠大大地添加粘合潤濕面積。
三、刻蝕和灰化
PTFE刻蝕
PTFE在未做處理的情況下不能印刷或粘合。眾所周知,運用活潑的堿性金屬能夠增強粘合才能,可是這種辦法不容易把握,一起溶液是有毒的。運用等離子辦法不僅僅保護環境,還能達到更好作用。
等離子結構能夠使外表較大化,一起在外表構成一個活性層,這樣塑料就能夠進行粘合、印刷操作。
PTFE混合物的刻蝕
PTFE混合物的刻蝕有必要十分仔細地進行,以免填充物被過度暴露,從而削弱粘合力。
處理氣體能夠是氧氣、氫氣和氬氣。能夠運用于PE、PTFE、TPE、POM、ABS和丙烯。
四、塑料、玻璃和陶瓷的外表活化和清潔
塑料、玻璃、陶瓷與聚丙烯、PTFE一樣是沒有極性的,因此這些資料在印刷、粘合、涂覆前要進行處理。一起,玻璃和陶瓷外表的輕微金屬污染也能夠用等離子辦法清潔。等離子處理與灼燒處理比較不會損害樣品。一起還能夠十分均勻地處理整個外表,不會產生有毒煙氣,中空和帶縫隙的樣品也能夠處理。
常用的等離子清洗機處理氣體為:空氣、氧氣、氬氣、氬氫混合氣體、CF4等

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